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溅射薄膜压力敏感元件使用说明

1.概述
  
  溅射薄膜压力敏感元件采用溅射工艺在17-4PH金属膜片上制作绝缘层及金属应变电桥和温度敏感电阻,具有稳定性高、耐高温、介质适应性强的特点。
  
  2.结构外形和电路接口

  

IMG_256

膜片内孔直径A=4.5mm   压力量程:0.5MPa~2Mpa

A=3.5mm   压力量程:3.5MPa~220Mpa

  
  3.敏感膜片结构安装要求

敏感膜片和压力接口的连接采用焊接方式(圆周对焊),具体安装图如下所示:

  

IMG_257

                                   焊接基座                                                       焊后结构

   
  膜片和基座的焊接可采用电子束焊、激光焊及微束氩护焊。焊接时膜片部分应加散热工装,并保护电桥部分(上图1面)。膜片电桥部分(上图1面)在焊接过程中温度应小于150℃。
  
  基座材料应采用17-4PH或1Cr18Ni9Ti、316不锈钢材料。
  
  4.使用注意事项
  
  4.1 严禁用手或其他物体接触膜片表面(应变图形),膜片表面的任何划伤均会损坏膜片。
  
  4.2 膜片电接点有两种方式:镍材料-采用超声压焊,可用于高温传感器。铅/锡合金-可直接使用烙铁锡焊,注意烙铁要接地良好。
  
  4.3 膜片电接点焊接后建议使用硅凝胶涂覆膜片表面以保护应变电桥。
  
  4.4 膜片焊接后,应对传感器组件进行机械稳定20次以上,压力大小为量程的2倍。根据具体应用情况,进一步进行机械稳定(机械稳定次数视膜片稳定性要求而定,建议在20~2000次之间)。
  
  4.5 建议对应变电阻进行电老化:供电电压10~15VDC,+150℃ 12小时。根据实际情况可进一步电老化。
  
  4.6 应变电桥的供电应采用直流恒压供电,供电电压为0~20VDC。
  
  5.主要技术指标:
  
  量程:0.5~220MPa;
  
  电桥输入阻抗:3~4KΩ
  
  电桥输出阻抗:2.8~3.8 KΩ
  
  零点:±1mV/V
  
  灵敏度:1mV/V~2.6mV/V(根据量程变化)
  
  绝缘电阻:大于500MΩ  100VDC。
  
  工作温度范围:-70℃~200℃;(锡焊连接,较高温度以焊锡使用温度为准。)
  
  零点温度漂移:小于0.005%FS/℃
  
  灵敏度温度漂移:小于0.005%FS/℃
  
  长期稳定性:小于0.1%FS/年。
  
  静态过载压力:2倍量程压力;
  
  动态过载压力:1.25倍量程压力;
  
  破坏压力:10倍量程压力
  
  温度敏感特性:
  
  Vc=(温度输出)-(电源-)
  
  Vc初值:46mV/V~60mV/V
  
  Vc灵敏度:+4800~+5100ppm/℃

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