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溅射薄膜压力传感器
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溅射薄膜压力传感器


应用范围    

装载机,工程机械等专用压力传感器


薄膜压力传感器利用溅射合金薄膜压力敏感元件结合先进的加工工艺技术制作而成。

压力介质直接作用的17-4PH不锈钢膜片上制作了组成惠斯登电桥的合金薄膜应变单元,该合金材料以分子形式在弹性体上淀积成薄膜应变电阻,薄膜电阻与弹性体以分子键合“融”为一体,可长期在-40℃~+150℃工作温度下稳定工作。生产过程中传感器经过了严格的高、低温循环,经过了两千次的疲劳处理。产品具有准确度高,工作温度范围宽,温漂小,高稳定,高可靠,抗振动,抗冲击,抗辐射的工作特点。使用激光焊(电子束焊等)。将溅射薄膜压力敏感元件与不锈钢压力接头焊为一体,成为封装型敏感元件。结构件材料为17-4PH不锈钢,能在各种恶劣环境下长期稳定的工作。


技术参数:

量程(bar)

5-2200

输出灵敏度(mV/V)

1 mV/V -2.6mV/V(参阅第4页敏感元件参数表)

准确度(%FS)

0.05;  0.1;  0.2;   0.5;

激励电压(VDC)

0~20

允许过压(%FS)

200

零点温度漂移(%FS℃)

小于±0.005

热灵敏度温度漂移(%FS℃)

小于±0.005

长期稳定性(%FS年)

小于±0.1

工作温度范围(℃)

-40~150

绝缘电阻(MΩ)

大于500


尺寸:

                     

(备注:螺纹接口参见选型表)

其中:Gnd:激励电源“-”;Vs:激励电源“+”;Vh:信号输出“+”;Vl:信号输出“-”;

*可配套提供:放大电路 (0-5V;0.5-4.5V;1-5V;0-10V;4-20mA ;10-90℅比率输出);

*如需其他要求请与公司洽谈。

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